1. 忽视定期擦拭的必要性
为确保所有洁净室和受控区域的质量,必须每日使用无尘布执行清洁维护。不当清洁会导致污染,最终损害终端产品的质量。污染物大致可分为两类:薄膜状污染物和颗粒状污染物,两者均可在微型电路中造成“致命缺陷”。洁净室污染会导致昂贵的停机时间并增加生产成本。一旦洁净室达到标准,必须定期清洁和维护以维持该标准。
对策: 不同洁净室的标准和要求各异,但以百级洁净室(Class 100)为例:每班次需擦拭工作区域一次;每周需对墙壁、边角及所有其他表面进行全面擦拭;此外还需执行每小时、每日或每周的其他各项维护。跳过这些定期擦拭会使颗粒物随时间累积。
2. 使用未折叠的平铺无尘布
不折叠无尘布不仅是浪费,更可能将污染物扩散到表面各处而非有效清除。
对策: 为最大化利用每块无尘布,应将其对折再对折(形成四分之一大小),提供多个清洁面使用。手握折叠布未展开的两侧,用拇指和食指捏住未展开的边缘。务必按规程丢弃用过的擦拭布。
3. 用一块无尘布清洁整个区域
单块无尘布的有效清洁范围仅限于其正确折叠后所能提供的清洁面,通常约8次擦拭。无尘布的每一面使用后即被视为已被污染,继续使用不仅无法清洁表面,反而会进一步扩散污染物。
擦拭应朝同一方向进行,每次重叠区域仅为10%至25%。每擦拭一次后需翻转擦拭布,确保下一次使用未污染的部分。当所有折叠面都使用后,可重新折叠以使用另一面,从而延长使用寿命。采用此折叠法,每块无尘布应能完成8次有效擦拭。根据污染清除的实际需要,使用足够数量的擦拭布。每块无尘布用毕后按现场规程处理,直至整个表面清洁完毕。
4. 从脏/湿区域向干净/干燥区域擦拭
洁净室擦拭的核心在于控制并清除污染物,避免其扩散至其他区域。泼洒物或其他大量污染应首先进行隔离处理,使用洁净室专用吸附材料控制污染源,再进行彻底清洁。清洁洁净室空间时,关键是从脏处向净处推进,避免已清洁区域被再次污染。
对策: 先擦拭并清除大部分污染物。随后,遵循正确使用擦拭布的规程,从洁净/干燥区域向潮湿/脏污区域方向擦拭,切忌反向操作。如此方能将污染物向内收拢并清除,而非向外清洁,将污染物扩散到更广的已洁净区域。
5. 以打圈方式擦拭
在洁净室表面打圈擦拭,无疑会将颗粒物和污染物扩散到洁净区域。无论使用一整包擦拭布,还是折叠方法多么正确,只要采用打圈方式都无济于事。
对策: 用力下压,以平行方向单次刮拭表面。每次刮拭后翻转擦拭布,确保下次使用干净面。清晰掌握已清洁区域,每次仅重叠约10%,这对确保表面彻底清洁、不留颗粒物痕迹至关重要。
6. 使用过干或过湿的擦拭布(而非微湿布)
洁净室擦拭的关键在于捕获并清除污染物和颗粒物。使用完全干燥、毫无水分的擦拭布虽能捕获部分污染物,但为达到最佳效果,擦拭布应保持微湿。
反之,使用浸透的湿布只会造成更大混乱,在整个表面留下污浊残留物,导致需要返工清洁,浪费时间和成本。
对策: 选购何种洁净室擦拭布取决于洁净室等级、规模、公司规程等诸多因素。对于小型、低等级的洁净室,使用干布配合独立清洁剂可能更具成本效益。而对于大规模或要求极高的洁净室,预浸润擦拭布则更佳,可省去使用第二种产品的步骤。
使用干无尘布配合独立清洁剂时: 在布折叠后涂抹清洁剂,注意避免清洁剂瓶与擦拭布接触,以最大限度减少交叉污染。
使用预浸湿无尘布时: 无需额外产品,折叠后即可直接使用。
7. 使用不适用于洁净室的擦拭布
根据产品、行业及州或政府法规的不同,洁净室形态各异,洁净室有明确的等级划分,例如半导体行业一般需要使用百级无尘布或者十级无尘布。